| 发明名称 |
Ion beam charge neutralizer and method therefor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6815697(B2) |
申请公布日期 |
2004.11.09 |
| 申请号 |
US20030397536 |
申请日期 |
2003.03.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO EATON NOVA |
发明人 |
SANO MAKOTO;SUGITANI MICHIRO |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317;H05H3/02 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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