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发明名称 LOW-TEMPERATURE POST-DOPANT ACTIVATION PROCESS
摘要
申请公布号 EP1444725(A1) 申请公布日期 2004.08.11
申请号 EP20020780440 申请日期 2002.10.11
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 YU, BIN;OGLE, ROBERT, B.;PATON, ERIC, N.;TABERY, CYRUS, E.;XIANG, QI
分类号 H01L21/28;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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