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发明名称 INTERFEROMETRIC APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1285222(A1) 申请公布日期 2003.02.26
申请号 EP20010933413 申请日期 2001.05.09
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 HILL, HENRY, ALLEN
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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