| 发明名称 |
Apparatus for forming ferroelectric thin film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2336850(B) |
申请公布日期 |
2000.03.29 |
| 申请号 |
GB19990018955 |
申请日期 |
1996.10.04 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
YONG KU * BAEK |
| 分类号 |
C23C14/44;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/509;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):C23C16/50;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C14/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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