发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11345871(A) 申请公布日期 1999.12.14
申请号 JP19980150210 申请日期 1998.05.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SATO TSUTOMU;MIZUSHIMA ICHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址