发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 JPS51123571(A) 申请公布日期 1976.10.28
申请号 JP19750048817 申请日期 1975.04.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUGIOKA YASOKAZU;OOKURA ISAO;FUKUNAGA SHINOBU
分类号 H01L27/08;H01L27/12;H01L29/02;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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