发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS51123571(A) |
申请公布日期 |
1976.10.28 |
申请号 |
JP19750048817 |
申请日期 |
1975.04.22 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SUGIOKA YASOKAZU;OOKURA ISAO;FUKUNAGA SHINOBU |
分类号 |
H01L27/08;H01L27/12;H01L29/02;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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