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发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL SILICON AND PRODUCING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11199365(A) 申请公布日期 1999.07.27
申请号 JP19970368276 申请日期 1997.12.26
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD;MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP;JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY CORP;TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 MAEDA SUSUMU;ABE HIROSHIGE;TERAJIMA KAZUTAKA;NAKANISHI HIDEO
分类号 C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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