在玻璃上形成氧化锡涂层的方法

摘要

本发明涉及在玻璃上形成氟掺杂氧化锡涂层的方法,该方法是通过提供一种含有机锡化合物,HF,水和氧气的,均匀的,气化的反应物混合物,并将该反应物混合物输送到该热玻璃带的表面上,在该表面上各种化合物发生反应以形成氟掺杂氧化锡涂层。根据本发明涂敷的氟掺杂氧化锡涂层显示出较低的薄膜电阻,并改进了在玻璃涂层表面上薄膜电阻的均匀性。

主权项

1.一种化学蒸气沉积方法，用于将氟掺杂氧化锡涂层涂敷到热玻璃衬底的表面上，该方法包括以下步骤：A)提供一种热玻璃衬底，该衬底包括欲沉积氟掺杂氧化锡涂层的表面；B)提供一种均匀的，气化的反应物混合物，该混合物含有机锡化合物，氟化氢，氧气和水；以及C)将气化的反应物混合物输送到热玻璃衬底表面上；其中该均匀的，气化的反应物混合物发生反应，以将氟掺杂氧化锡涂层沉积在该热玻璃衬底的表面上。