发明名称 WAFER TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10242103(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970038080 申请日期 1997.02.21
申请人 MARUWA SEISAKUSHO:KK;CANON INC 发明人 UEHARA FUMIO;HARADA KENICHI;SAKAGUCHI KIYOBUMI;YANAGIDA KAZUTAKA
分类号 B08B3/12;H01L21/02;H01L21/304;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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