发明名称 FORMATION OF COATING FILM AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10183339(A) 申请公布日期 1998.07.14
申请号 JP19960355206 申请日期 1996.12.20
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KIRIMURA HIROYA;KISHIDA SHIGEAKI;MIKAMI TAKASHI;OGATA KIYOSHI
分类号 C23C14/22;C23C14/32;C23C14/48;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/52;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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