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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH08241863(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950045443 申请日期 1995.03.06
申请人 CANON INC 发明人 KUNIYONE KAZUO
分类号 H01L21/205;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/203;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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