发明名称
摘要
申请公布号 JPH088978(B2) 申请公布日期 1996.01.31
申请号 JP19890098024 申请日期 1989.04.17
申请人 发明人
分类号 B01D65/00;B01D35/00;B01D35/16;H01L21/304;(IPC1-7):B01D65/00 主分类号 B01D65/00
代理机构 代理人
主权项
地址