| 发明名称 |
FILM FORMING DEVICE, ITS VAPORIZATION SOURCE CRUCIBLE AND FORMATION OF THIN FILM OF SUBLIMABLE VAPORIZATION MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07232992(A) |
申请公布日期 |
1995.09.05 |
| 申请号 |
JP19940020603 |
申请日期 |
1994.02.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TSUKASAKI TAKASHI;ICHIMURA HIDEO;MURAKAMI MASAAKI;INOUE SHINICHI |
| 分类号 |
C01G1/00;B01J19/00;C23C14/24;C30B23/08;C30B29/22;H01L21/203;H01L39/24;(IPC1-7):C30B23/08 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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