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发明名称 Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung desselben
摘要
申请公布号 DE4239463(C2) 申请公布日期 1995.01.26
申请号 DE19924239463 申请日期 1992.11.24
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUSAKO, TAKUO, ITAMI, HYOGO, JP;SATSUMA, KAZUMASA, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/66;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/78;H01L27/118;H01L23/58 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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