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发明名称 Verfahren zum Erzeugen einer isolierten, einkristallinen Siliziuminsel
摘要
申请公布号 DE4127925(C2) 申请公布日期 1994.01.13
申请号 DE19914127925 申请日期 1991.08.23
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 VOGT, HOLGER, DR.-ING., 4330 MUEHLHEIM, DE
分类号 H01L21/32;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76;C30B31/06;C30B33/08;H01L21/20;H01L21/31 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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