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发明名称 Resist compositions.
摘要 <p>A resist based on a living polymer is provided. Living anionic polymerization of p-alloxycarbonyloxystyrene monomers results in polymers having a molecular weight distribution (Mw/Mn) of from 1 to 1.4.</p>
申请公布号 EP0516426(A1) 申请公布日期 1992.12.02
申请号 EP19920304858 申请日期 1992.05.28
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 YAMADA, MOTOYUKI;FURIHATA, TOMOYOSHI;WATANABE, OSAMU;YAGIHASHI, FUJIO
分类号 C08F12/00;C08F12/22;C08F112/14;C08L25/18;G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 C08F12/00
代理机构 代理人
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