| 发明名称 |
Procede de microlithographie en champ proche optique et dispositifs de microlithographie le mettant en oeuvre |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
OA9538(A) |
申请公布日期 |
1992.11.15 |
| 申请号 |
OA19920060174 |
申请日期 |
1992.03.20 |
| 申请人 |
SPIRAL RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT (SARL) |
发明人 |
DE FORNEL FREDERIQUE;GOUDONNET JEAN-PIERRE;MANTOVANI JAMES;FREDERIQUE DE FORNEL;JEAN-PIERRE GOUDONNET;JAMES MANTOVANI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):B41M1/06;G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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