| 发明名称 |
PREVENTING LOW TEMPERATURE POST ETCH DEPOSIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2246101(A) |
申请公布日期 |
1992.01.22 |
| 申请号 |
GB19910014897 |
申请日期 |
1991.07.10 |
| 申请人 |
* MICRON TECHNOLOGY INC |
发明人 |
DAVID A * CATHEY JR;HARLAN * FRANKAMP |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
