发明名称 METHOD OF ALUMINIUM HIGH-DUTY SEMICONDUCTOR COMPONENTS' ALUMINIUM CONTACT ETCHING
摘要
申请公布号 CS269214(B1) 申请公布日期 1990.04.11
申请号 CS19880001280 申请日期 1988.02.29
申请人 KACER JAN ING.,CS;ANDRS VLADIMIR ING.,CS;POJMAN PAVEL ING.,CS;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR.,CS;RICAROVA DANIELA ING.,CS 发明人 KACER JAN ING.,CS;ANDRS VLADIMIR ING.,CS;POJMAN PAVEL ING.,CS;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR.,CS;RICAROVA DANIELA ING.,CS
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址