| 发明名称 |
LARGE AREA MICROWAVE PLASMA APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0211772(A) |
申请公布日期 |
1990.01.16 |
| 申请号 |
JP19890075228 |
申请日期 |
1989.03.29 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES INC;CANON INC |
发明人 |
YOAHIMU DOORAA;JIEFURII EMU KURISUKO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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