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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01289124(A) 申请公布日期 1989.11.21
申请号 JP19880118890 申请日期 1988.05.16
申请人 UTAKA MASATOSHI 发明人 UTAKA MASATOSHI;MISAWA HIROSHI;OGAWA HISANORI
分类号 H01L21/20;H01L21/306 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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