发明名称 STRUCTURE OF IIL CIRCUIT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01289156(A) 申请公布日期 1989.11.21
申请号 JP19880118891 申请日期 1988.05.16
申请人 UTAKA MASATOSHI 发明人 KAWAKAMI HIROKI;UTAKA MASATOSHI
分类号 H01L21/8226;H01L27/08;H01L27/082 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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