| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR-MATRIX |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01183438(A) |
申请公布日期 |
1989.07.21 |
| 申请号 |
JP19880009229 |
申请日期 |
1988.01.19 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KIMURA TAKAO;SHIBATA SHUICHI;SHIMIZU MAKOTO |
| 分类号 |
C03C3/06;C03B8/02;C03C3/253;H01L31/0248;H01L31/08 |
主分类号 |
C03C3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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