发明名称 SUBSTRATE-HOLDING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH01119670(A) 申请公布日期 1989.05.11
申请号 JP19870277713 申请日期 1987.11.02
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 AOYAMA AKIRA
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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