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发明名称
SUBSTRATE-HOLDING MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH01119670(A)
申请公布日期
1989.05.11
申请号
JP19870277713
申请日期
1987.11.02
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
AOYAMA AKIRA
分类号
C23C14/50
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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