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发明名称 Verfahren zum chemischen Trockenätzen
摘要
申请公布号 DE3714144(C2) 申请公布日期 1994.08.25
申请号 DE19873714144 申请日期 1987.04.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 HAYASAKA, NOBUO, TOKIO/TOKYO, JP;OKANO, HARUO, TOKIO/TOKYO, JP;SUTO, SAYAKA, KAWASAKI, JP
分类号 H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306;C23F1/02;C23F1/12;H05H1/24 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
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