| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6269533(A) |
申请公布日期 |
1987.03.30 |
| 申请号 |
JP19850209505 |
申请日期 |
1985.09.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KANEKO MASAHIDE;MATSUO RYUICHI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/8234;H01L23/52;H01L23/522;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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