| 发明名称 |
METHOD FOR MAKING A SELF-ALIGNED FIELD EFFECT TRANSISTOR INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0043944(B1) |
申请公布日期 |
1986.10.08 |
| 申请号 |
EP19810104806 |
申请日期 |
1981.06.23 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
JAMBOTKAR, CHAKRAPANI GAJANAN |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/033;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/28;H01L21/60;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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