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发明名称 ISOLATION VALVE
摘要
申请公布号 IL65262(D0) 申请公布日期 1982.05.31
申请号 IL19820065262 申请日期 1982.03.16
申请人 ATLANTIC RICHFIELD CO 发明人
分类号 H01L21/302;C23C14/56;C23C16/54;F16J15/16;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L31/04;(IPC1-7):F16K/ 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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