| 发明名称 |
SINGLE-WAFER TYPE BOTH-FACE CLEANER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07130693(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19930300985 |
申请日期 |
1993.11.05 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
MATSUKAWA HIROYUKI;YONEMIZU AKIRA;MATSUSHITA MICHIAKI |
| 分类号 |
B08B11/04;B08B3/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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