光阻组成物用树脂、光阻组成物、及光阻图型之形成方法

摘要

本发明系提供解像性、线蚀刻粗糙特性良好的光阻组成物用树脂、及使用该树脂之光阻组成物及光阻图型之形成方法。上述树脂为于聚合物终端具有结合至碳原子的羟基，且该羟基之α位碳原子为具有至少一个电子吸引性基。093115553-p01.bmp