发明名称 Integrated circuit device having improved substrate capacitance isolation
摘要
申请公布号 US5151775(A) 申请公布日期 1992.09.29
申请号 US19910772753 申请日期 1991.10.07
申请人 TEKTRONIX, INC. 发明人 HADWIN, MATTHEW J.
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L23/522 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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