| 发明名称 | W‑Ti溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明的W‑Ti溅射靶具有如下组成：含有5质量％以上且20质量％以下的范围内的Ti及25质量ppm以上且100质量ppm以下的范围内的Fe，且余量由W及不可避免的杂质构成，在靶面内的多处测定Fe浓度，并将所测定的Fe浓度的最大值设为Fe<sub>max</sub>，Fe浓度的最小值设为Fe<sub>min</sub>的情况下，满足(Fe<sub>max</sub>‑Fe<sub>min</sub>)/(Fe<sub>max</sub>+Fe<sub>min</sub>)≤0.25这一关系式。 | ||
| 申请公布号 | CN106460160A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580021546.8 | 申请日期 | 2015.09.30 |
| 申请人 | 三菱综合材料株式会社 | 发明人 | 野中庄平;斋藤淳;大友健志 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;B22F5/00(2006.01)I;C22C27/04(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种W‑Ti溅射靶，其具有如下组成：含有5质量％以上且20质量％以下的范围内的Ti及25质量ppm以上且100质量ppm以下的范围内的Fe，且余量由W及不可避免的杂质构成，在靶面内的多处测定Fe浓度，并将所测定的Fe浓度的最大值设为Fe<sub>max</sub>，将Fe浓度的最小值设为Fe<sub>min</sub>的情况下，满足如下关系式：(Fe<sub>max</sub>‑Fe<sub>min</sub>)/(Fe<sub>max</sub>+Fe<sub>min</sub>)≤0.25。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||