| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung (5) zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas, mit einer ersten Elektrode (7) und einer zweiten Elektrode (9), die durch ein dielektrisches Element (11) elektrisch voneinander isoliert und voneinander beabstandet sind. Es ist vorgesehen, dass die erste Elektrode (9) – in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen – eine Dicke von mindestens 10 µm aufweist, wobei die zweite Elektrode (9) – in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen – eine Dicke von mindestens 5 µm bis höchstens 30 µm aufweist, und wobei das dielektrische Element (11) eine Dicke von mindestens 10 µm bis höchstens 250 µm aufweist. |
