| 摘要 |
【課題】プラズマ着火時に、主電源の出力段のコンデンサに蓄積されていたエネルギに起因する突入電流が負荷に供給されることを防止する。【解決手段】装置起動時には着火用電源３のみを動作させ、スイッチ４を閉成して着火用電源３による高電圧をチャンバ９内の陽極９１−陰極９２間に印加する。チャンバ９内でガスの電離が進み着火すると、着火判定部６１が出力電圧の変化からこれを検知し、着火時点から所定時間後に主電源１を起動する。そして、主電源１が或る程度立ち上がった時点でスイッチ４を開成し、主電源１のみから負荷９３に電力を供給する。着火時点ではコンデンサ１２は充電されていないので、着火時に突入電流が流れることを回避できる。また、着火直後には着火用電源３から最小限必要な微小電流が負荷９３に供給されるので、主電源１が立ち上がるまでプラズマ放電を安定的に維持することができる。【選択図】図１ |
