エピタキシャルウエハおよびその製造方法

摘要

エピタキシャルウエハ（１００）は、第１の主面（１０１）を有する炭化珪素膜（１２０）を備えている。第１の主面（１０１）には、溝部（２０）が形成されている。溝部（２０）は、第１の主面（１０１）に沿って一方向に延びている。また溝部（２０）は、一方向における幅が一方向に垂直な方向における幅の２倍以上である。また溝部（２０）は、第１の主面（１０１）からの最大深さが１０ｎｍ以下である。