含铜及钛之金属层用蚀刻液组成物(

摘要

明提供一种含铜及钛之金属层用蚀刻液组成物，以该组成物总重为基准，包括5至20 wt%过硫酸盐，0.01至2 wt%氟化合物，1至10 wt%选自于无机酸、无机酸盐、及其混合物中之一者或多者，0.3至5 wt%环状胺化合物，1至10 wt%选自于有机酸、有机酸盐、及其混合物中之一者或多者，及剩余为水。

主权项

一种含铜及钛之金属层用蚀刻液组成物，以该组成物总重为基准，包括：5至20wt%过硫酸盐；0.01至2wt%氟化合物；1至10wt%选自于无机酸、无机酸盐、及其混合物中之一者或多者；0.3至5wt%选自于由5-胺基四唑、甲苯基三唑、苯并三唑、及甲基苯并三唑所组成之群组之环状胺化合物；1至10wt%选自于有机酸、有机酸盐、及其混合物中之一者或多者；及剩余为水，其中，该无机酸系选自于由硝酸、硫酸、磷酸、及过氯酸所组成之群组，该无机酸盐系选自于由硝酸盐、硫酸盐、磷酸盐、及过氯酸盐所组成之群组，该有机酸系选自于由乙酸、乙醇酸、柠檬酸、及草酸所组成之群组，及该有机酸盐系选自于由乙酸、乙醇酸、柠檬酸、及草酸所组成之群组中之任一者之钾盐、钠盐、及铵盐所组成之群组。