图案描绘装置、图案描绘方法、元件制造方法、雷射光源装置、光束扫描装置、以及光束扫描方法

摘要

描绘装置，系藉由雷射光之扫描点在被照射体上描绘既定图案，其特征在于，具备：光源装置，射出该雷射光；复数个描绘单元，为了使该雷射光射入而产生该扫描点，包含使该雷射光扫描之光扫描构件与光学透镜系，设置成使该扫描点在该被照射体上之不同区域扫描；以及复数个选择用光学元件，为了切换是否使来自该光源装置之该雷射光射入该复数个描绘单元中已选择之该描绘单元，沿着来自该光源装置之该雷射光之行进方向直列配置。

主权项

一种图案描绘装置，系藉由雷射光之扫描点在被照射体上描绘既定图案，其特征在于，具备：光源装置，射出该雷射光；复数个描绘单元，为使该雷射光射入后产生该扫描点，包含扫描该雷射光之光扫描构件与光学透镜系，设置成使该扫描点在该被照射体上之不同区域扫描；以及复数个选择用光学元件，为了切换是否使来自该光源装置之该雷射光射入该复数个描绘单元中选择之该描绘单元，而沿着来自该光源装置之该雷射光之行进方向直列配置。