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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PARTICLE REMOVAL
摘要
申请公布号 EP1965931(A2) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 EP20060847809 申请日期 2006.12.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 FREER, ERIK, M.;DELARIOS, JOHN, M.;MIKHAYLICHENKO, KATRINA;RAVKIN, MICHAEL;KOROLIK, MIKHAIL;REDEKER, FRITZ, C.
分类号 B08B3/00 主分类号 B08B3/00
代理机构 代理人
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