发明名称 Method for manufacturing Trench isolation
摘要
申请公布号 KR101095671(B1) 申请公布日期 2011.12.19
申请号 KR20030082700 申请日期 2003.11.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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