一种新型正硅酸乙酯气体供应装置

摘要

一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，适用于在硅抛光片晶圆背面催生长成一层二氧化硅时，向背封炉设备内提供正硅酸乙酯气体。本实用新型利用正硅酸乙酯在20度以上即可生成饱和蒸汽压的特性，通过对放置在水箱（7）内盛装正硅酸乙酯液体的1号桶式容器（12）和2号桶式容器（11）进行水温加热和温度控制，使正硅酸乙酯液体生成饱和蒸汽压并与真空泵产生的真空形成一个压力差，通过第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）分别经背封炉管道进入背封炉内以达到催生氧化的目的。本实用新型结构简单，操做方便，桶式容器可以自行制做、更换，不同规格、型号的背封炉设备均可选用本实用新型所述的供应装置。

主权项

一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，其特征是：所述的一种新型正硅酸乙酯气体供应装置主要是由水箱（7）、不锈钢支架（8）、加热棒（10）、1号桶式容器（12）、2号桶式容器（11）、水箱盖（19）、第一液体输入管道（14）、第二液体输入管道（15）、第一气体输出管道（3）、第二气体输出管道（4）、第一热电偶（1）、第二热电偶（2）、第三热电偶（6）构成；其中，水箱（7）是一个双层不锈钢箱体；水箱（7）下部内壁一侧装有一个加热器（10），加热器（10）的上方是一个不锈钢支架（8），水箱（7）上部设有一个可开启的水箱盖（19）；热电偶（6）穿过水箱盖（19）垂直在水箱（7）内的一侧位置； 1号桶式容器（12）和2号桶式容器（11）分别水平放在不锈钢支架（8）上面； 1号桶式容器（12）和2号桶式容器（11）上穿过水箱盖（19）分别装有第一液体输入管道（14）、第一气体输出管道（3）、第二液体输入管道（15）和第二气体输出管道（4）；第一液体输入管道（14）和第二液体输入管道（15）分别与外部正硅酸乙脂液体供应系统连接；第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）分别与背封炉设备上的炉管相连接；第一液体输入管道（14）和第二液体输入管道（15）、第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）上分别装有第一液体输入管道阀门（9）第二液体输入管道阀门（17）、第一气体输出管道阀门（16）和第二气体输出管道阀门（18）；第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）前端部分分别包裹有加热保温层（20）和加热保温层（5）。