电容器结构及其制造方法，包含电容器结构之半导体装置及其制造方法

主权项

一种电容器结构，其包括：一基板上之复数个下部电极，该等下部电极具有平坦顶面且排列于一第一方向上以界定一下部电极行，复数个下部电极行排列于垂直于该第一方向之一第二方向上以界定一下部电极矩阵；至少两个邻近下部电极之上部侧壁上的复数个支撑件；该等下部电极及该等支撑件上之一介电层；及该介电层上之一上部电极。