| 摘要 |
本発明は、透明基板の欠陥を検出するための照射システムであって、棒状の光源レセプタクルと、それぞれの第１の光を放射し、それぞれの第１の光は、互いに実質的に平行であって、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第１の列に配置した複数の第１のスポット光源と、それぞれの第２の光を放射し、それぞれの第２の光は、互いに実質的に平行であって、レセプタクルの前後方向に沿ったスポット光源の第２の列に配置した複数の第２のスポット光源と、を含み、スポット光源の第１の列及び第２の列は、実質的に一列に配置され、前後方向にレセプタクルの半分ずれて位置し、走査ラインを通過する平面Ｐにおいて、透明基板に垂直で、走査ライン上のそれぞれの点に集中する第１の光及び第２の光の投射は、点を通過し、走査ラインに垂直な平面Ｐの列の異なる側に位置する照射システムに関する。【選択図】図５ |
