| 摘要 |
放電により生成されたプラズマを電磁波により拡大するプラズマ生成装置において、放射アンテナの位置調節を容易化する。【解決手段】プラズマ生成装置３０は、電磁波発生装置３１と放射アンテナ１６と高電圧発生装置１４と放電電極１５とを備えている。放射アンテナ１６は、高電圧発生装置１４から出力された高電圧が印加される放電電極１５との間に放電ギャップを形成する。プラズマ生成装置３０では、高電圧発生装置１４から高電圧を出力することにより放電ギャップに放電プラズマを生じさせると共に、電磁波発生装置３１から電磁波を出力することにより放射アンテナ１６から電磁波を放射して放電プラズマを拡大させる。 |
