发明名称 | 用于大面积等离子体加工的装置 | ||
摘要 | 根据本发明,一种用于大面积等离子体加工的装置包括至少一根平面天线(A),具有多个互连的基本共振网孔(M1、M2、M3),每一个网孔(M1、M2、M3)都包括至少两个导电引脚(1、2)和至少两个电容(5、6)。射频发生器将所述天线(A)激发为其共振频率中的至少一种。加工室靠近所述天线(A)。所述天线(A)生成的电磁场场型具有非常良好地限定的空间结构,这就允许很好地控制等离子体的激发。 | ||
申请公布号 | CN102318034B | 申请公布日期 | 2014.07.23 |
申请号 | CN200980156455.X | 申请日期 | 2009.02.10 |
申请人 | 赫利森有限责任公司 | 发明人 | P·吉特蒂埃尼 |
分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 金晓 |
主权项 | 一种用于等离子体加工的装置(50),包括:a.至少一根平面天线(A),b.激发所述天线(A)的至少一个射频发生器(20),c.气体喷射系统(55)和扩散器,d.靠近所述天线(A)的加工室(51),e.其中所述平面天线(A)包括多个互连的基本共振网孔(M1、M2、M3),每一个网孔(M1、M2、M3)都包括至少两个导电引脚(1、2)和至少两个电容(5、6),以使所述天线(A)具有多个共振频率,以及f.其中所述射频发生器(20)将所述天线(A)激发至其共振频率中的至少一个。 | ||
地址 | 瑞士洛桑 |