测试装置以及测试模组

摘要

本发明提供一种测试装置，为一种对被测试元件进行测试的测试装置，包括：控制装置，其对该测试装置进行控制；图案产生器，其用于产生应供给到前述被测试元件的多个输入端子的多个测试图案；多个可变延迟电路，其用于规定将前述多个测试图案分别供给到对应的前述输入端子的时序；多个微型控制器，其能够并行地进行动作，且依据来自前述控制装置的指示，测定各个前述可变延迟电路被设定为规定的延迟设定值时的延迟量，并将前述规定的延迟设定值和所测定的延迟量对应地进行储存。