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发明名称 Ätzvorrichtung und Verfahren zum Ätzen eines Materials eines Werkstücks
摘要
申请公布号 DE102012103769(A1) 申请公布日期 2013.04.11
申请号 DE201210103769 申请日期 2012.04.27
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BERNRIEDER, SEBASTIAN;FISCHER, THOMAS;FOERG, RAIMUND;LARISCH, MICHAEL
分类号 C23F1/08;C23F1/00;H01L21/67 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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