消除四点电阻测量的成直线定位误差

摘要

本发明涉及一种计算校正因子的方法，该校正因子用来减少用四点探针的电阻测量中的定位误差。该四点探针具有主体和每个都包括探针的四个探针臂，探针臂从主体平行延伸出来。该四点探针包括电触点，用于在该探针和测试仪器之间建立电接触发射和接收电信号。该方法可以包括如下步骤：将探针臂定位到与试样的表面接触、选择包括第一和第二探针臂的第一集合和包括第三和第四探针臂的第二集合，并通过第一集合的第一探针臂从测试仪器给第一集合的第二探针臂施加第一电流、该第一电流通过试样传播，检测第二集合的第三和探针臂之间的第一感应电压、并计算第一电压和第一电流之比的第一四点电阻Rfirst。而且，该方法可以包括：选择包括第一和第二探针臂的第三集合，其中该第三集合包括仅仅一个第一集合的探针臂，以及包括第三和第四探针臂的第四集合，其中该第四集合包括仅仅一个第二集合的探针臂。通过第三集合的第一探针臂从测试仪器给第三集合的第二探针臂施加第二电流，该第二电流通过试样传播，检测第四集合的第三和探针臂上的第二感应电压，并计算第二电压和第二电流之比的第二四点电阻Rsecond。而且，该方法还可以包括：基于第一和第二四点电阻计算校正因子。

主权项

一种用于计算校正因子的方法，该校正因子用来减少用四点探针进行的电阻测量中的定位误差，所述四点探针具有主体和每个都包括探针的四个探针臂，所述探针臂从所述主体平行延伸出来，所述四点探针包括电触点，用于在所述探针和测试仪器之间建立电接触发射和接收电信号，所述方法包括如下步骤：将所述探针臂定位到与所述试样的表面接触，选择包括第一和第二探针臂的第一集合和包括第三和第四探针臂的第二集合，通过所述第一集合的所述第一探针臂从所述测试仪器给所述第一集合的所述第二探针臂施加第一电流，所述第一电流通过所述试样传播，检测所述第二集合的所述第三和探针臂之间的第一感应电压，计算所述第一电压和所述第一电流之比的第一四点电阻Rfirst，选择包括第一和第二探针臂的第三集合，其中所述第三集合包括仅仅一个所述第一集合的所述探针臂，以及包括第三和第四探针臂的第四集合，其中所述第四集合包括仅仅一个所述第二集合的所述探针臂，通过所述第三集合的所述第一探针臂从所述测试仪器给所述第三集合的所述第二探针臂施加第二电流，所述第二电流通过所述试样传播，检测所述第四集合的所述第三和探针臂之间的第二感应电压，计算所述第二电压和所述第二电流之比的第二四点电阻Rsecond，基于所述第一和第二四点电阻计算校正因子。