用于检查光伏衬底的方法

摘要

本发明公开了一种用于检查具有固有的混杂图案的衬底出现裂纹的方法，该方法包含有以下步骤：在衬底的第一侧面提供有光学器件和前侧照明；在和该第一侧面相对的衬底的第二侧面提供有NIR照明，该NIR照明被操作来穿过该衬底，以便于被该光学器件通过该衬底检测；通过前侧照明和/或从第二侧面通过NIR照明照射获得一个或多个图像；其后处理该一个或多个图像，以将衬底上的混杂图案和衬底上出现的任何裂纹区分。

主权项

一种用于检查具有固有的混杂图案的衬底的方法，该方法包含有以下步骤：在衬底的第一侧面提供有光学器件和前侧照明；在和该第一侧面相对的衬底的第二侧面提供有NIR照明，该NIR照明被操作来穿透该衬底，以便于被该光学器件通过该衬底检测；通过前侧照明照射获得该衬底的第一图像；通过NIR照明从第二侧面照射获得该衬底的第二图像；其后处理第一图像和第二图像，以将衬底上的混杂图案和衬底上出现的任何裂纹区分。