| 发明名称 |
MULTILAYER SUBSTRATE INCLUDING GaN LAYER, METHOD FOR MANUFACTURING THE MULTILAYER SUBSTRATE INCLUDING GAN LAYER, AND DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP2230334(A4) |
申请公布日期 |
2011.09.28 |
| 申请号 |
EP20080859773 |
申请日期 |
2008.12.11 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
AKIYAMA, SHOJI |
| 分类号 |
C30B29/08;C30B23/02;C30B25/18;C30B29/40;C30B33/02;H01L21/203;H01L21/205;H01L33/00 |
主分类号 |
C30B29/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
