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Verfahren zur Ansteuerung eines Mikrospiegels (24), mit folgenden Schritten: a) Bereitstellen eines Mikrospiegelarrays (22), das in einem Beleuchtungssystem (10) einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage angeordnet ist und den Mikrospiegel (24) enthält, wobei der Mikrospiegel (24) um jeweils einen Verkippungswinkel (αx, αy) um zwei Kippachsen (x, y) verkippbar ist und dem Mikrospiegel (24) drei Aktoren (E1, E2, E3) zugeordnet sind, die jeweils durch Steuersignale (U1, U2, U3) ansteuerbar sind, um den Mikrospiegel (24) um die beiden Kippachsen (x, y) zu verkippen; b) Vorgeben zweier Stellgrößen (SGx, SGy), von denen jede einer Kippachse (x, y) zugeordnet ist und die ungestörten Verkippungswinkeln (αx, αy) zugeordnet sind; c) Für beliebige Kombinationen der beiden Stellgrößen (SGx, SGy) Auswahl einer der drei Aktoren (E1), dessen Steuersignal (U1) auf einen konstanten Wert gesetzt wird, in Abhängigkemmen der Steuersignale (U1, U2, U3) derart, dass beim Anlegen der Steuersignale...
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